多晶矽生(shēng)產中含(hán)氟廢酸液處(chù)理工藝(yì)
來源(yuán):本站日期:2023-01-09 03:05:38 瀏覽:1758
在多晶矽生產過程中會排放少量的含氟廢酸液,對(duì)此類含氟廢酸液該如何處理(lǐ)呢?樱桃视频污污污小編今天給大家介紹(shào)一下多晶矽生產中含氟廢酸液處理工藝。
一、多(duō)晶矽含氟廢酸液來源
在多晶(jīng)矽生產的矽料清洗工序,先用(yòng)堿液除去矽料表麵的(de)石英、金(jīn)屬離子等,再使用39%氫氟酸(suān)和68%硝(xiāo)酸的(de)混(hún)合液進行酸洗,後(hòu)用去(qù)離子水衝洗浸泡至中性。酸洗階段產生少量廢酸液,使用(yòng)完的廢酸(suān),濃度的降低基本可以忽略不(bú)計,氟離子含量約5%。
二(èr)、多(duō)晶矽含(hán)氟廢(fèi)水常規預(yù)處理工藝
由於多晶矽(guī)含氟(fú)廢水處理該廢液酸性很強(qiáng),為避免對後(hòu)端處理設備造成腐蝕,一(yī)般會調解(jiě)PH值,然後向(xiàng)廢水中投加石灰乳或者(zhě)電石渣,對廢水進行中和(hé),同時鈣離子與(yǔ)氟離子生成難(nán)溶物氟化鈣(gài)沉澱。
三、多晶矽含氟(fú)廢水零排放處理工藝
預處理出水的主要鹽組(zǔ)分為硝酸鈣(gài),硝酸鈣質量濃度10%以上(shàng),氟離子(zǐ)含量約10mg/L,pH高於7。將預處理後的廢水蒸發濃縮至質量(liàng)濃度70%左右,再冷卻至40℃以下,結晶(jīng)生成四(sì)水硝酸鈣。
四水物(wù)加熱到151℃完全(quán)脫(tuō)水,加熱到495~500℃時,硝酸(suān)鈣分解放出氧(yǎng)並生(shēng)成亞硝酸鈣,繼續加熱則分解成氧化鈣(gài)及(jí)氧化氮氣(qì)體。
硝酸鈣為(wéi)強氧化劑,屬於危險化學品。因此該工藝(yì)產出的四水硝酸鈣應避免受熱(rè),並嚴禁(jìn)與有機物、還原劑、磷和硫磺等(děng)接觸。
硝酸鈣水(shuǐ)溶液在不同壓力下的沸點不同,70%硝酸鈣(gài)溶液在常壓下(xià)的沸點為133℃,而在絕壓40kPa和25kPa下,其沸點分別下降到105℃和93℃。
硝酸鈣(gài)溶液的(de)蒸發器宜選用強製循環蒸發器,因為強製循環蒸發(fā)器(qì)對高黏度、易生(shēng)泡沫、易結垢、甚至有結(jié)晶析出的溶液均適(shì)用,且(qiě)完成液(yè)的組成較容易恒定。蒸發器內恒定的完成液組成對後續冷卻結(jié)晶係統的正常穩定運行起到至(zhì)關重要的作用。
根據硝酸鈣的水鹽體係(xì),硝(xiāo)酸鈣溶液(yè)可以選擇(zé)采用冷卻(què)結晶係統,冷卻結晶產出(chū)的硝酸鈣產品可以作為肥料(liào)利用。
四(sì)、多晶矽廢水處理尾氣處理工藝
對廢酸液處理過程(chéng)中產生的廢氣處(chù)置工藝及設備選型,酸性廢氣可用堿性(xìng)溶液進行吸收處理,常用的吸收(shōu)液。
經堿(jiǎn)液吸收後的(de)尾氣通過排氣筒高空排放,尾氣中氮氧化物和氟化物排放濃度及排放速率滿足排放標準。室外高空排放時應設避(bì)雷設施(shī),采(cǎi)用金屬排(pái)放裝置(zhì)還應有可靠(kào)的接地措施。
根據含氟廢酸(suān)液中和後的溶液組成及性質,選(xuǎn)取合適的蒸發結晶(jīng)工藝和(hé)操作條件,以實現廢液的零排放。